Trung Quốc bắt đầu sản xuất thiết bị quang khắc DUV nhúng tự sản xuất trong nước, theo nguồn tin

SINGAPORE, ngày 28 tháng 7 Trung Quốc đã bắt đầu sản xuất hàng loạt máy quang khắc tia cực tím sâu (DUV) dạng nhúng do trong nước tự phát triển, một công nghệ đóng vai trò cốt lõi trong việc sản xuất chip tiên tiến, theo một người am hiểu vấn đề này cho biết. Động thái này đánh dấu một bước tiến quan trọng trong nỗ lực của Bắc Kinh nhằm giảm sự phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài.

Hình ảnh do Reuters cung cấp ngày 19 tháng 4 năm 2024 cho thấy các công nhân đang làm việc trước hệ thống in thạch bản "High NA EUV" tại một cơ sở của Intel ở Hillsboro, Oregon, Mỹ

Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, một công ty nhà nước ít được biết đến của Trung Quốc, đang dẫn đầu nỗ lực sản xuất này sau khi sáp nhập các đội ngũ từ những startup quang khắc hàng đầu Trung Quốc, nguồn tin cho biết và đề nghị giấu tên do tính chất nhạy cảm của chủ đề.

Phát triển này đại diện cho một thắng lợi cho sáng kiến tự chủ bán dẫn trên toàn quốc của Bắc Kinh một trong những ưu tiên hàng đầu của Chủ tịch Tập Cận Bình nhưng sẽ không tạo ra mối đe dọa thương mại ngay lập tức đối với nhà cung cấp Hà Lan ASML.

DUV là một công cụ sản xuất chip quan trọng vốn từ lâu đã bị thống trị bởi ASML (ASML.AS).

The Information, một trang tin tức về ngành công nghệ, đã đưa tin đầu tiên về việc Trung Quốc phát triển công cụ này vào thứ Hai, lưu ý rằng một công ty do nhà nước chống lưng chưa xác định tên ở Thượng Hải đã bắt đầu sản xuất các máy này và dự kiến sản xuất khoảng 5 máy trong năm nay và khoảng 20 máy vào năm 2027. Reuters là đơn vị đầu tiên báo cáo về danh tính của công ty này.

Máy DUV của Aishengna dự kiến sẽ cần thử nghiệm thêm và vẫn còn cách xa mới đuổi kịp các mẫu đối thủ của công ty Hà Lan, nguồn tin cho biết.

Tuy nhiên, việc triển khai thành công sẽ mang lại cho các nhà sản xuất chip Trung Quốc một nguồn thiết bị thay thế nếu các chính phủ phương Tây thắt chặt hơn nữa các hạn chế xuất khẩu hoặc dịch vụ bảo trì cho các công cụ quang khắc nước ngoài.

Các máy DUV do Trung Quốc sản xuất dự kiến sẽ được giao trong năm nay cho các nhà sản xuất chip hàng đầu Trung Quốc bao gồm Semiconductor Manufacturing International Corp (SMIC), Hua Hong Semiconductor và nhà sản xuất chip nhớ ChangXin Memory Technologies (CXMT), The Information cho biết khi dẫn lời hai người am hiểu vấn đề.

ASML, công ty có cổ phiếu giảm hơn 8% vào thứ Hai, đã không phản hồi ngay lập tức yêu cầu bình luận. SMIC, Hua Hong và CXMT cũng không phản hồi các yêu cầu bình luận.

AISHENGNA ĐƯỢC HỖ TRỢ BỞI VỐN VÀ CÔNG NGHỆ THƯỢNG HẢI

Aishengna được thành lập vào tháng 8 năm 2023 với vốn điều lệ 7 tỷ nhân dân tệ (1,0 tỷ USD), được chống lưng bởi chỉ hai cổ đông nhà nước Shanghai Electric Holding và một công ty con của Shanghai International Trust, theo các hồ sơ doanh nghiệp.

Có rất ít thông tin được biết về công ty này, đơn vị không có trang web và chưa công khai bất kỳ điều gì về hoạt động của mình. Nguồn tin cho biết công ty đã sáp nhập các đội ngũ từ startup quang khắc Yuliangsheng đơn vị đã bắt đầu thử nghiệm một mẫu DUV thử nghiệm vào năm ngoái và Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE).

SMEE và Yuliangsheng một công ty liên kết của nhà sản xuất thiết bị SiCarrier do Huawei hỗ trợ đang tham gia sâu rộng vào các nỗ lực tự chủ bán dẫn của Bắc Kinh.

Các hồ sơ doanh nghiệp và tuyển dụng cho thấy Aishengna và Yuliangsheng dùng chung một địa chỉ tại Thượng Hải.

Aishengna, các cổ đông của họ, SMEE và Yuliangsheng đã không phản hồi các yêu cầu bình luận.

RƯỢT ĐUỔI ASML

Trung Quốc đã bị Mỹ cấm mua các hệ thống quang khắc tia cực tím cực sâu (EUV) tiên tiến nhất của ASML, trong khi các biện pháp kiểm soát xuất khẩu của Hà Lan cũng đã hạn chế khả năng tiếp cận của họ đối với một số máy DUV tiên tiến.

Các máy DUV nhúng sử dụng một lớp nước giữa thấu kính chiếu và phiến thạch anh (silicon wafer) để in các mẫu mạch nhỏ hơn so với các hệ thống khô truyền thống.

Chúng được sử dụng để sản xuất một phạm vi rộng các loại chip và cũng có thể được đẩy tới giới hạn để sản xuất các chất bán dẫn tiên tiến hơn thông qua kỹ thuật phơi sáng nhiều lần (multiple patterning), vốn yêu cầu chiếu sáng lặp đi lặp lại trên cùng một lớp.

Reuters đã đưa tin vào tháng 12, dẫn các nguồn tin, rằng Trung Quốc đã thành công trong việc chế tạo một mẫu thử nghiệm của hệ thống EUV một công cụ then chốt để sản xuất các loại chip tiên tiến nhất thế giới mặc dù nó vẫn còn cách xa thời điểm sản xuất thương mại nhiều năm.